WH-HP-01烘膠臺(tái)是蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開發(fā)，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)，可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)溫控溫，并具有兩段式自動(dòng)升溫、烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。