硅微通道芯片

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

硅微通道芯片，是半導(dǎo)體材質(zhì)芯片，和傳統(tǒng)的IC工藝能很好的兼容，有利于多功能芯片的集成，尤其是硅基芯片可以很好的引入電學(xué)控制單元。目前，我公司是通過(guò)濕法腐蝕（酸/堿）得到的特異性芯片截面結(jié)構(gòu)，其中酸法腐蝕得到的芯片結(jié)構(gòu)為U型，堿法腐蝕得到的芯片結(jié)構(gòu)為V型。同時(shí)，我們?yōu)榭蛻籼峁┎煌男酒喼品?wù)，以滿足不同的客戶要求。

優(yōu)點(diǎn)：

1. 通道表面結(jié)構(gòu)良好；

2. 易于集成；

3. 半導(dǎo)體硅基材質(zhì)。

加工規(guī)格：

1. 酸/堿法腐蝕硅片寬深比接近2:1；

2. 通道表面粗糙度約為Ra=2um。