1. 產(chǎn)品簡介

顯影機(jī)（WH-XY-01）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨(dú)立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品， 針對光刻工藝中的顯影過程而設(shè)計(jì)開發(fā)的，可以對 7 英寸以下規(guī)格的硅片進(jìn)行程控式自動化顯影。該設(shè)備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環(huán)節(jié)，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控，最大程度上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。

      涂膠顯影機(jī)目前規(guī)格及型號：WH-XY-02顯影機(jī)（5寸）,WH-XY-01顯影機(jī)（7寸）

顯影機(jī)主要特點(diǎn)如下：

1）顯影池?fù)u晃震蕩頻率可設(shè)定,保證顯影液與硅片等接觸充分，提高顯影效果與質(zhì)量；

2）可根據(jù)顯影的載體進(jìn)行精確設(shè)定顯影托盤升降位置，從而確定顯影液的進(jìn)入添加量，避免顯影液的浪費(fèi)；

3）顯影液可以自動添加與排放，靈活更換；

4）友好的人機(jī)界面設(shè)計(jì)，保證操作人員的使用體驗(yàn)與安全；

5）便攜性好，方便在實(shí)驗(yàn)室移動；

6）腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。

2.技術(shù)參數(shù)

震蕩方向：順時針/逆時針

轉(zhuǎn)速：110～250RPM

液量控制：50～500mL

適配硅片/芯片：3寸,4寸,5寸（WH-XY-02），3寸,4寸,5寸,6寸,7寸（WH-XY-01）

顯影時間：0～999s

進(jìn)液速度：0～100%

電源輸入：AC220V±10V/50HZ

功率：150W

重量：14 kg

外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %

3. 特征圖解

4. 顯影機(jī)使用視頻指導(dǎo)

備注：如需了解產(chǎn)品價格及其他技術(shù)內(nèi)容可咨詢我司客服。